准分子放电灯，又称准分子灯，是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的卤素和稀有气体进行轰击发出单一的紫外线。使用不同的卤素和稀有气体可以产生一系列的准分子光。

     因为这些波段在人造光源里面很难找到，所以准分子光源开辟了一系列新的应用。

    鸿利秉一将推出222nm、308nm、172nm准分子光源。